產(chǎn)品目錄 Product catalog
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北京恒奧德儀器儀表有限公司
聯(lián)系人：王蕊
公司郵箱：2272048995@qq.com
辦公地址：北京市海淀區(qū)富海中心
北京恒奧德儀器旋轉涂膜操作原理 |
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北京恒奧德儀器旋轉涂膜操作原理
機通過高速旋轉基片，利用離心力將膠液均勻涂覆在基片表面。其核心原理如下：
操作原理 ?滴膠?：將膠液滴在高速旋轉的基片中心。 ?離心力擴散?：旋轉產(chǎn)生的離心力使膠液從中心向四周擴散，形成均勻涂層。 ?厚度控制?：涂層厚度取決于膠液粘度、基片轉速、旋轉加速度及溶劑蒸發(fā)速度，通常遵循h∝ω(-1/2)的數(shù)學關系。 ? 關鍵參數(shù) ?轉速范圍?：常見轉速范圍為500-8000轉/分，可通過光電檢測與負反饋電路實現(xiàn)±1%的轉速穩(wěn)定度。 ? ?程序控制?：支持多段編程（20個程序段×51種速度變化），可實現(xiàn)低速注膠和高速勻膠的二段控制。 ? ?真空吸附?：采用無油真空泵固定基片，確保涂覆精度。 ? 應用場景 廣泛應用于半導體晶圓光刻膠涂布、光學鏡片涂層、生物材料薄膜制備等領域，尤其在需要高精度、均勻涂層的工藝中 |
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